Nano -and micro- electromechanical systems: fundamentals of nano- and microengineering
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Boca Ratón
CRC
2005
|
| Ausgabe: | 2a. ed |
| Schriftenreihe: | Nano- and Microscience, Engineering, Technology, and Medicine Series
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| Schlagworte: | |
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